... etching1 蚀刻2浸蚀 etching chamber 蚀刻处理室 etching end point detection 蚀刻终点检测 ...
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... 经蚀刻晶圆 Etching 蚀刻 etching chamber 蚀刻终点检测 etching system ...
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.chamber)，而后经由加热室 (heating chamber)、蚀刻室(etching chamber)、溅镀室(sputtering chamber)、 冷却室 ( cooling chamber )， 最后经由载出室(unloading chamber)，完成薄模溅镀过程。
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